干泵LR/HR/UR series通過(guò)獨自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話(huà)通過(guò)搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛(ài)發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養

干泵LR/HR/UR series通過(guò)獨自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話(huà)通過(guò)搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛(ài)發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養

干泵GR series是以有實(shí)際和信賴(lài)的LR,HR系列為基礎，面向一般產(chǎn)業(yè)用途設計的簡(jiǎn)單構造泵。日本愛(ài)發(fā)科GR系列干式真空泵維修保養GR60A

干泵CR series Ver.B是獲得規格（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型泵。運轉時(shí)排氣室內不使用油，轉子和汽缸也無(wú)接觸，可長(cháng)時(shí)間穩定運轉。愛(ài)發(fā)科真空泵、干泵CR Series Ver.B維修

用途 ● 鍍膜、濺射、離子鍍 ● 真空熱處理爐、溶解爐 ● 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣