PEG100潘寧真空計 的詳細介紹INFICON PEG100潘寧真空計提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì )出現單絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì )降低,潘寧真空計還可在濺射應用環(huán)境下運行。
現場(chǎng)總線(xiàn)選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議,將真空計輕松集成到真空系統中。
PEG100潘寧真空計益處:測量范圍廣,從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)全金屬冷陰極傳感器(潘寧),帶陶瓷饋入裝置創(chuàng )新的電極幾何形狀提供的點(diǎn)火屬性等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險,即使在有氬氣的濺射運行中陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換zui小化真空計附近的磁場(chǎng)強度用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器對數模擬輸出信號現場(chǎng)總線(xiàn)接口(Profibus DP、DeviceNet)允許使用網(wǎng)絡(luò )通信將真空計輕松集成到真空系統中
PEG100潘寧真空計典型應用:高真空壓力監控蒸發(fā)濺射系統高真空范圍內的一般真空測量和控制PEG100潘寧真空計選型指南:PEG100零件號說(shuō)明351-000真空計351-002PEG100-P 規管351-003PEG100D 型真空計351-004PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F351-005PEG100-P 規管備件PEG100零件號說(shuō)明351-490陰極片
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