歐瑞康萊寶的Mag digital系列磁懸浮分子泵的

主要技術(shù)特點(diǎn)：

抽速： 830l/s ～ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統，自平衡性能好全無(wú)油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉子葉片不易卷曲、打碎；轉子長(cháng)期運行溫度可高達120℃。
轉子及定片均采用萊寶技術(shù)的KAPLAR涂層
較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體；
降低氣流與轉子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉子運行溫度，有利于延長(cháng)轉子壽命；
葉片鍍KAPLAR的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
保護軸承為陶瓷軸承壽命長(cháng)，無(wú)需更換保護軸承。
高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強度高，充分保障安全。
智能化電源，無(wú)需UPS。
帶拖動(dòng)級，前級耐壓在2mbar以上。
分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝制程。
的數字控制技術(shù)
運行速度、溫度可設置；
運行數據記錄存儲，提供多達180條運行信息；
磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控制，信號處理速度快，系統反應時(shí)間短
轉子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補償反應時(shí)間短；
在氣流長(cháng)時(shí)間（2分鐘以上）過(guò)大，而使泵負載過(guò)高，發(fā)熱量過(guò)大時(shí)，泵速會(huì )快速自動(dòng)調節，使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無(wú)識別性，可互換。
免維護。

典型應用：
 
所有半導體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜