前級真空機組

萊寶羅茨泵機組WAU1001 、SV300B

油式

RUTA真空泵系統的組成，一般由WA、WS和RA型，或WAU、WSU帶內置旁通管型的羅茨泵，以及油封式前級泵組成，用來(lái)產(chǎn)生真空。

結構特點(diǎn)

（1)泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進(jìn)、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時(shí)穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時(shí)穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個(gè)轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2)泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉子是通過(guò)一對高精度齒輪來(lái)實(shí)現其相對同步運轉的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動(dòng)結構布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動(dòng)轉子由電動(dòng)機端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉子軸的扭轉變形小，則兩個(gè)轉子之間的間隙不會(huì )因主動(dòng)軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱(chēng)，泵的重心偏向電動(dòng)機和齒輪箱一側。萊寶羅茨泵機組WAU1001 、SV300B

特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱(chēng)性，故振動(dòng)小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動(dòng)功率，從而可實(shí)現較高轉速；

(3)泵腔內無(wú)需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結構簡(jiǎn)單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線(xiàn)柱面，加工和檢查比較困難。

機械選擇

⑴真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

⑶真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。

⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí)，應該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線(xiàn)），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應該選在這個(gè)范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(cháng)期工作。

⑺真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

⑻真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。

⑼真空泵的價(jià)格、運轉及維修費用。

機械安裝

⑴真空泵應安裝在地面結實(shí)堅固的場(chǎng)所，周?chē)鷳粲谐浞值挠嗟?，便于檢查、維護、保養。

安裝原理圖

⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩，振動(dòng)小。

⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時(shí)應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）

⑷在連接管路中，用戶(hù)可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門(mén)及真空計，隨時(shí)可檢查真空泵的極限壓力。

⑸按電動(dòng)機標牌規定連接電源，并接地線(xiàn)和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。

⑹真空泵通電試運轉時(shí)，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）

⑺對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。

⑻如真空泵口安裝電磁閥時(shí)，閥與真空泵應同時(shí)動(dòng)作。

⑼當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí)，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過(guò)濾器。