德國萊寶低溫真空泵COOLVAC 5000 iCL 維修?

COOLVAC / COOLPOWER / COOLPAK系列低溫產(chǎn)品

萊寶COOLVAC系列低溫泵，*，可靠耐用，維護簡(jiǎn)單，適應科研和工業(yè)的應用要求。

COOLVAC 低溫泵系列德國萊寶低溫真空泵COOLVAC 5000 iCL 維修?

COOLVAC真空泵是制冷型低溫泵，通過(guò)低溫冷凝的方法借由泵內的冷壁將氣態(tài)物質(zhì)捕集從而產(chǎn)生真空。正是因為這個(gè)原理，COOLVAC低溫泵具有高有效抽速

5000/10000iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫泵

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過(guò)低溫冷凝和低溫捕集到泵內冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻系統的類(lèi)型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于

氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過(guò)低溫冷凝和低溫捕集到泵內冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻系統的類(lèi)型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機冷卻低溫泵。

客戶(hù)得益

低溫泵的優(yōu)勢：

- 所有氣體都有高抽速

- 對水汽有*的抽速

對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側沒(méi)有任何機械活動(dòng)

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無(wú)烴真空

- 對外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn)：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進(jìn)行控制

- 性?xún)r(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用

萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠(chǎng)生產(chǎn)的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設計，請見(jiàn)以下示意圖的內容。

一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板（6）。

根據泵的型號和工作條件不同，達到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護屏和障板為銅質(zhì)，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。

另外，熱輻射防護屏經(jīng)過(guò)拋光，將反射損失降到盡可能小。二級冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。

根據工作條件，達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。

COOLVAC制冷機低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠(chǎng)設置，過(guò)壓150mbar（113托）時(shí)打開(kāi)。

為了保證在安全閥動(dòng)作時(shí)，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線(xiàn)。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內，飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關(guān)閉壓縮機并加熱低溫區到室溫或略高的溫度，由前級真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統的低溫泵這種低溫泵通過(guò)向泵內吹掃干燥、預熱的惰性氣體（例如氮氣）加熱低溫區到室溫。此情況下，由于低溫泵內不可能有確定的和受控制的溫度，所以無(wú)法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過(guò)干燥惰性氣體的稀釋作用來(lái)防止可燃混合氣的形成。

多臺低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大，可以同時(shí)驅動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。

客戶(hù)得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小

萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵

低溫泵通過(guò)電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類(lèi)情況下，低溫泵內可以達到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過(guò)程保證了氣體被連續排出，也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè)

被釋放：

-　吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、　 氦氣、氖氣）

-　冷凝在冷傘上的氣體（例如氮氣、　 氧氣、氬氣）

-　冷凝在障板和熱輻射防護屏上的氣　 體和蒸汽（例如水蒸汽）

萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類(lèi)的氣體在泵內同時(shí)存在，從根本上排除了可燃混合氣形成的可能。

加溫過(guò)程為全自動(dòng)，泵內的壓強和溫度分布，始終由控制系統確定和控制，從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。

萊寶真空的低溫泵分自然再生（BL）和全自動(dòng)加熱再生（iCL）兩個(gè)系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單品以對氮氣抽速命名（單位l/s），如COOLVAC 1500 iCL對氮氣的抽速為1500l/s?？商峁?500到60000l/s的全系列產(chǎn)

品。

在報價(jià)清單上，泵名稱(chēng)帶有符號“V”的：“V”表示高真空接口位于上端，冷頭在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。

3.　特殊低溫泵

低溫泵的優(yōu)勢：

- 所有氣體都有高抽速

- 對水汽有*的抽速

對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側沒(méi)有任何機械活動(dòng)

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無(wú)烴真空

- 對外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn)：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進(jìn)行控制

- 性?xún)r(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用

客戶(hù)得益

- 無(wú)烴高真空

- 抽氬氣和氮氣能力強

- 切入閾值高

- 操作簡(jiǎn)單

- 易于整合到復雜系統

- 全自動(dòng)再生

- 維修簡(jiǎn)單

典型應用

- 蒸發(fā)器

- 濺射系統

- 離子注入機

- 光學(xué)鍍膜機