THERMOVAC-變送器

THERMOVAC 變送器基于*的MEMS技術(shù)和皮拉尼原理設計，具有*性?xún)r(jià)比。測量范圍從10^-5到1500豪巴之間。THERMOVAC變送器耐沖擊、耐振動(dòng)，測量重復性好。
萊寶皮拉尼真空計TTR91N TTR96N?

TTR91N(S)/ TTR96N，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

真空壓力測量和原理隨著(zhù)真空應用領(lǐng)域的拓展，對真空變送器量程的要求達到2000毫巴至10-12毫巴，測量范圍達16個(gè)數量級。由于物理特性的原因，沒(méi)有一個(gè)單獨的真空計能夠在整個(gè)壓力范圍內進(jìn)行定量測量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設計的具有各自*測量范圍（測量原理應用直接壓力測量和間接壓力測量）的真空計。萊寶皮拉尼真空計TTR91N TTR96N?
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TTR91N(S)/ TTR96N，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC真空變送器

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TTR91N(S)/ TTR96N，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

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TTR91N(S)/ TTR96N，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

真空壓力測量和原理

隨著(zhù)真空應用領(lǐng)域的拓展，對真空變送器量程的要求達到2000毫巴至10^-12毫巴，測量范圍達16個(gè)數量級。

由于物理特性的原因，沒(méi)有一個(gè)單獨的真空計能夠在整個(gè)壓力范圍內進(jìn)行定量測量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設計的具有各自*測量范圍（測量原理應用直接壓力測量和間接壓力測量）的真空計。

直接（）式壓力測量與被測量的氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)。利用機械方法，通過(guò)作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測量。

間接壓力測量通過(guò)測量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導率，電離概率）進(jìn)行間接測量的，因此間接壓力測量的結果取決于具體的氣體類(lèi)型。測量讀數是以空氣或氮氣為測量氣體時(shí)的讀數，對于其他氣體，可利用修正因數修正測量讀數。

萊寶真空變送器控制簡(jiǎn)單，極易與系統集成。

萊寶真空計的優(yōu)勢：

可靠性高

操作簡(jiǎn)單

測量結果重復性好

持續監測若干測量地點(diǎn)

安裝簡(jiǎn)單并且節省成本和空間

測量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長(cháng)（可達100米）

通過(guò)數字/模擬接口將數據傳輸至PLC/計算機

符合電磁兼容性（EMC）要求

符合標準和規程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

THERMOVAC型變送器基于皮拉尼真空計的熱傳導原理設計，S型變送器配備集成的繼電器輸出，適合工藝控制。THERMOVAC型變送器帶有360°LED環(huán)顯示真空計的狀態(tài)。

優(yōu)勢

采用MEMS技術(shù)。耐沖擊，耐震動(dòng)

精度高，相應速度快

可靠性高

TTR 91N(S)/ TTR 96N

測量原理

皮拉尼熱傳導真空計

量程范圍

5．10^-5到1000mbar

TTR 911N(C/S)/ TTR 916N

TTR 911N和TTR 916N系列配置數字接口或者觸碰顯示器。C版帶有Parylene HT鍍膜適合腐蝕性應用。

測量原理

皮拉尼熱傳導真空計

量程范圍

5．10^-5到1000mbar

TTR 101N(S)

TTR 101N系列真空計的采用基于MEMS技術(shù)固態(tài)傳感器單元，耐沖擊和振動(dòng)。該真空計結合的皮拉原理與壓電原理的優(yōu)勢（10mbar到1500mbar測量結果與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)）。

優(yōu)勢

復合真空計（MEMS皮拉尼與MEMS壓電薄膜）

精度高，量程寬

測量原理

皮拉尼熱傳導/壓電壓力

量程范圍

5．10^-5到1500mbar

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