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產(chǎn)品名稱(chēng): 萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-02-08
產(chǎn)品型號: L300i MODUL PHOENIX
產(chǎn)品特點(diǎn): 氦檢質(zhì)譜漏儀的原理
氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。
檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃

萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃 的詳細介紹

萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃?

 

 

 

萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃?

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理

氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。

 

檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。

 

重要技術(shù)規范

測量范圍和響應時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數。

測量范圍用小和可檢漏率限定。萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃?

小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內系統噪聲幅度和零點(diǎn)漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點(diǎn)漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率?？蓹z漏率依賴(lài)于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見(jiàn)下面的說(shuō)明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀內部的多級高阻抗輸入開(kāi)關(guān)放大器也能提高檢漏儀測量大漏的能力。在實(shí)際的檢漏操作過(guò)程中特別是查找漏點(diǎn)的時(shí)候，響應時(shí)間十分重要。該時(shí)間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀顯示測量值所用的時(shí)間。電子信號調節電路系統的響應時(shí)間是總響應時(shí)間的重要組成部分。對于檢漏儀來(lái)說(shuō)，電氣系統的響應時(shí)間遠小于1秒。

蘇州昆山太倉無(wú)錫上海張家港吳江萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃、上門(mén)維修、上門(mén)檢漏

常熟鎮江常州揚州泰州南通南京啟東萊寶L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃、上門(mén)維修、上門(mén)檢漏?

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檢漏設備對氦的有效抽速決定了氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的時(shí)間（如果檢漏設備沒(méi)有輔助抽空的系統，檢漏儀內置的真空泵的大小會(huì )影響系統的響應時(shí)間）。檢漏系統的響應時(shí)間可根據下面的簡(jiǎn)單公式計算：

氦響應時(shí)間 微信截圖_20180905110732.png

 

(達到實(shí)際漏率95%的時(shí)間)

其中 V = 試驗對象容積

SHe = 檢漏系統對氦的有效抽速。

 

用標準漏孔校準檢漏儀

檢漏工藝要求準確地區分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標準漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設備的基準。為了獲得準確的漏率數據，必須使用標準漏孔對校準檢漏儀進(jìn)行校準。

萊寶真空可以提供采用不同原理設計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標準漏孔。所有標準漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會(huì )） 和

DAKKS認證認可的標準。根據客戶(hù)的要求， 每個(gè)氦標準漏孔都可以提供由DAkkS認證認可委員會(huì )頒發(fā)的校準證書(shū)。校準工作由萊寶真空在PTB授權的DAKKS校準實(shí)驗室完成。

PHOENIX L300i MODUL是模塊化的檢漏儀。它以PHOENIX L300i為基礎，但沒(méi)有集成前級真空泵?？蛻?hù)可以根據特定用途選擇并添加外部前級真空泵。適合大型真空室檢漏或快速循環(huán)檢大漏等檢漏應用。

 

PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性，并可以根據客戶(hù)需求配置前級泵。

 

兩個(gè)基本類(lèi)型：

- 干式檢漏系統（配置干式前級泵）

- 油式檢漏系統（配置油封式前級泵）

 

 

PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵

根據檢漏應用的要求配置抽速適當的前級泵將檢漏儀的功能發(fā)揮很好。

客戶(hù)得益

- 高效的檢漏儀

- 抽速按照特定用途進(jìn)行了優(yōu)化

- 響應速度快

- 高靈敏度

- 可以快速定量地檢測出小漏

 

PHOENIX L300i MODUL配置干式前級泵

為客戶(hù)提供高效的干式檢漏系統。

客戶(hù)得益

- 大抽速，可用于測試半導體生產(chǎn)設備

而不必采用輔助抽空系統

- 響應速度快

- 恢復時(shí)間短（氦污染后）

- 干燥無(wú)油

- 高靈敏度

氦質(zhì)譜檢漏儀

L300i MODUL PHOENIX檢漏儀

L300i MODUL PHOENIX檢漏儀

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術(shù)規范測量范圍和響應時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數。測量范圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內系統噪聲幅度和零點(diǎn)漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的...

 

PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵

典型應用

涉短循環(huán)和/或大容積、需要有移動(dòng)式

檢漏系統的所有用途，例如：

- 汽車(chē)工業(yè)

- 制冷行業(yè)

- 工業(yè)爐/機床/真空系統

- 包裝

 

 

PHOENIX L300i MODUL配置干式前級泵

典型應用

需要工藝清潔的所有用途，例如：

- 半導體產(chǎn)業(yè)（芯片制造商）

- 半導體產(chǎn)業(yè)（OEM和分包商）

- 高純度氣體行業(yè)

- 科研

- 超高真空應用

訂貨信息

PHOENIX L300i   MODUL

  

產(chǎn)品號

產(chǎn)品號

PHOENIX L300i MODUL無(wú)前級真空泵 115-230V，50/60Hz

 

250002V01

250002V01

附件

 

推薦的前級真空泵 SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV   28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D   SCROLLVAC SC 30 DL

 

歐洲版230V, 50Hz 960 286960 277根據需求提供113   25113 35133 001 133 050

美國版 115V,   60Hz 根據需求提供 根據需求提供根據需求提供 根據需求提供 根據需求提供 133 101 133 051

其他附件參見(jiàn)“PHOENIX   L300i、PHOENIX L300iDRY和PHOENIX   L300i MODUL附件”部分。

技術(shù)參數

 

PHOENIX L300i   MODUL

  
 

配置單級旋片泵

配置雙級旋片泵

配置渦旋泵

 

小可檢氦漏率真空模式吸槍模式（實(shí)驗室數據）

毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1

≤ 5 x 10-11 < 7 x 10-9

 

≤ 5 x 10-12 < 7 x 10-9

 

≤ 8 x 10-12 < 7 x 10-9

 

小可檢氫漏率真空模式吸槍模式

毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1

≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7

 

≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7

 

≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7

 

入口高壓強帶分流系統

毫巴（托）毫巴（托）

15 1000

 

15 1000

 

15 1000

 

抽真空期間的抽速，泵（50赫茲）

       

SOGEVAC SV 16 BI

立方米/小時(shí)

16

 

–

 

–

 

SOGEVAC SV 28 BI

立方米/小時(shí)

25

 

–

 

–

 

SOGEVAC SV 40 BI

立方米/小時(shí)

40

 

–

 

–

 

TRIVAC D 16 B

立方米/小時(shí)

–

 

16

 

–

 

TRIVAC D 25 B

立方米/小時(shí)

–

 

26

 

–

 

SCROLLVAC SC 15 D

立方米/小時(shí)

–

 

–

 

13

 

SCROLLVAC SC 30 DL

立方米/小時(shí)

–

 

–

 

26

 

入口抽速（氦）

升/秒

> 3 1

 

> 3 1

 

> 3 1

 

漏率信號時(shí)間常數（達63%終值）

秒

< 1

 

< 1

 

< 1

 

小可檢漏率

毫巴x升x秒-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1

 

1 x 10-12 to 1 · 10-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1

 

測量單位（可選）壓強漏率吸槍模式

 

mbar, Pa, atm, Torr mbar x   l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

mbar, Pa, atm, Torr mbar x   l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

mbar, Pa, atm, Torr mbar x   l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq

 

檢漏儀啟動(dòng)時(shí)間

分鐘

< 2

< 2

< 2

 

質(zhì)譜儀

 

180°扇形磁場(chǎng)

180°扇形磁場(chǎng)

180°扇形磁場(chǎng)

 

離子源

 

2氧化釔/銥長(cháng)效陰極

2氧化釔/銥長(cháng)效陰極

2氧化釔/銥長(cháng)效陰極

 

可檢測質(zhì)量數

 

2, 3 和   4

2, 3 和   4

2, 3 和   4

 

入口

 

1 x DN 25 ISO-KF

1 x DN 25 ISO-KF

1 x DN 25 ISO-KF

 

尺寸（寬x高x深）

mm

495 x 456 x 314

495 x 456 x 314

495 x 456 x 314

 

重量

千克(磅)

30

30

30

 

語(yǔ)言

英語(yǔ)、德語(yǔ)、中文、日語(yǔ)、俄語(yǔ)、法語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、波蘭語(yǔ)和朝鮮語(yǔ)

 

 

 

 

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