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產(chǎn)品名稱(chēng): 日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-02-09
產(chǎn)品型號: ULK-04A ULK-06A ULK-10A
產(chǎn)品特點(diǎn): ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長(cháng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養

日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養 的詳細介紹

油擴散泵
ULK 系列

ulkseries

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長(cháng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養?

特點(diǎn)

  • 設計為高臨界背壓。
  • 單臺可以抽到?10-2 Pa (10-4 torr)，性能非常穩定。
  • 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
  • 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡(jiǎn)單)
  • 具備輔助泵側的油液反流防止機構日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養?
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