日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U8HL維修?
日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U8HL維修
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 1,500 |
氫氣 | 2,200 | ||
氬氣 | 1,200 | ||
水 | 4,000 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
氫氣 | 1.6×102(1.2) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 1.6×108(1.2×106) |
氫氣 | 1.2×106(9.0×103) | ||
冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 100/90(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-200 | ||
壓縮機裝置 | C10, C10AT, C10ES | ||
質(zhì)量 | Kg | 20 |
*維護間隔:16,000小時(shí)
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