G-TRAN系列 多離子規
SH2-1/SH2-2
ULVAC開(kāi)發(fā)不同測定范圍的測定子可連接換能器型『G-TRAN 系列多離子規』(特許申請中)，并進(jìn)行制品化。過(guò)去復數方式原理組合成一個(gè)匡體的復合真空計，「一個(gè)測定子的故障導致測定子需要全部更換」「測定子結構復雜容易故障」「測定子價(jià)格高」等的客戶(hù)反饋經(jīng)常聽(tīng)到，如果是這種新方式，可以進(jìn)行廣帶域測定，運行費用大幅削減，對應低環(huán)境負荷。愛(ài)發(fā)科真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2?
特點(diǎn)
? 廣域測定：從大氣壓到高真空領(lǐng)域（10+5?5×10-8Pa）可以進(jìn)行測定（SPU?SAU同時(shí)使用的場(chǎng)合）
? 不同測定范圍的測定子可以連接：多離子規(特許申請中)的采用導致可以選擇適合用途的測定子
? 正確的大氣壓測定：大氣壓確認容易過(guò)去正確可能(使用SAU場(chǎng)合)
? 低環(huán)境負荷對應：針對測定子進(jìn)行必要的更換，盡可能降低運行成本費
? 辨認性提升：搭載可以確認異常的LED
? 保養性：測定子的更換容易
? 測定值輸出信號：壓力0-10V輸出(信號輸出)
? 控制輸出信號：設定值3點(diǎn)輸出可能(SH2-1)
? 串行通信規格：RS232C/RS485通信可能（SH2-2）
? 適合規格：CE標準對應
愛(ài)發(fā)科真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2?
用途
? 太陽(yáng)能電池，FPD，半導體，電子部品為主的各種制造裝置的高真空領(lǐng)域過(guò)程控制用
? 內聯(lián)式，枚葉式等多種過(guò)程室搭載的各種制造裝置的高真空領(lǐng)域的到達壓力確認用
? 高真空?超高真空裝置的壓力測定用
規格
| 型號 | SH2-1 | SH2-2 | |
| 規格 | 標準規格 | 串行通信規格 | |
| 自適應多離子規傳感器 | M-34(NW16)、M-35(NW25)、M-36(UFC070) | ||
| 可以連接的傳感器 | 多離子規傳感器：1套 皮拉尼真空計SPU：1套（可選） 大氣壓傳感器SAU：1套（可選） | ||
| 取樣時(shí)間 | 70ms 4次的移動(dòng)平均處理 | ||
| 測定值輸出td> | 輸出電壓 DC 0?10V LOG輸出 0.75V/1位 壓力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ * 兼有設定值調整用的輸出電壓(僅限ST2-1) | ||
| 更新時(shí)間 | 50msec | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 開(kāi)路集電極輸入，負邏輯 * FIL ON/OFF信號はモードにより使用方法が異なる | – | |
| 控制輸出信號 | 傳感器故障，設定值1/2/3、排放驅動(dòng)器、 燈絲電力監視 額定：24VMAX、50mAMAX、飽和電壓1V | – | |
| 串行通信規格 | – | RS232C/RS-485 | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、錯誤LED (取決于模式改變閃爍) FIL： 有效發(fā)光的LED | ||
| SET1： 設定值1LED SET2： 設定值2LED SET3： 設定值3LED | – | ||
| 排放電流 | 1mA(1×10-3Pa以下)、10μA | ||
| DEGAS | 電子碰撞解吸方式（電子轟擊）1mA、330V | ||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa（壓力） * 法蘭或夾子等的耐壓力需要另外考慮 | ||
| 傳感器內容積 | 34cm3（M-34） | ||
| 使用溫度范圍 | 10?50ºC | ||
| 使用濕度范圍 | 15?80%(無(wú)結露) | ||
| 儲藏溫度 | -20?65ºC(當斷電時(shí)，無(wú)結露) | ||
| IP防護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC20?28V (紋波，噪聲低于1%) 19W以下(當接通電源時(shí)156W) | ||
| 輸入輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺） | ||
| 重量 | 控制器：約530g B-A測定子(M-34)：63g | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 144mm×75mm×62mm以下(控制器單元) | ||
| 適合規格 | CE | ||
| 選 項 | 多離子規傳感器 | M-34(NW16)、M-35(NW25) 材質(zhì)：燈絲1-Ir/Y2O3涂層、 燈絲2-W(鎢)、 其他-PtC?Mo、SUS、W | |
| 皮拉尼 | SPU | ||
| 皮拉尼規傳感器 | WP-16(NW16) 材質(zhì)：燈絲Pt、 其他－BS/Ni、電鍍、Ni、焊接 | ||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | SPU用0.5m、SAU用0.5m | ||
| 顯示單元 | 1CH：Model ISG1 (DC24V電源使用) 4CH：Model IM1R1 (DC24V電源使用) 、 Model IM2R1 (AC100V電源使用) | ||
| 顯示單元電纜 | SH2?顯示單元間電纜 2m、5m、10m、15m、20m | ||
■ 各模式規格：可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規單體模式，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法
蘇州昆山太倉無(wú)錫上海張家港吳江常熟鎮江日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
常州揚州泰州南通南京啟東海門(mén)如皋海門(mén)海安
日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
紹興金華寧波余姚福州廈門(mén)泉州深圳廣州珠海日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長(cháng)春吉林日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶日本進(jìn)口愛(ài)發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規SH2-1/SH2-2
| 模式 | SH2-1/SH2-2 單體模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式 |
| 測定壓力范圍 | 5×10-8?1×10+1Pa | 5×10-8?1×10+4Pa | 5×10-8?1×10+5Pa |
| 測定精度 | 5×10-8?1×10+1Pa： ±15% | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準溫度25ºC) |
| 重復性精度 | 1×10-6?1×10-1Pa： ±2% | ||
| 連接圖 (例) |  |  |  |
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