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產(chǎn)品名稱(chēng): 英國愛(ài)德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-03-25
產(chǎn)品型號: iH600 iH1000
產(chǎn)品特點(diǎn): Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng )新的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和*封閉的水冷卻電機。英國愛(ài)德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修

英國愛(ài)德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修 的詳細介紹

英國愛(ài)德華EDWARDS晶圓半導體iH600干式真空泵維修

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過(guò)現場(chǎng)應用證明，可以按照高工作標準運行。通過(guò)延長(cháng)使用壽命、提高運行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運行成本，實(shí)現了高的可靠性和性能。英國愛(ài)德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
  
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應用

  • 負載鎖
  • 輸送
  • 計量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 預清潔
  • RTA
  • 剝離/灰化
  • 刻蝕
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設施消耗。
  • 無(wú)需預防性維護。
  • 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
  • 在節省電機功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
  • 整體式軸桿無(wú)需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。英國愛(ài)德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修

技術(shù)數據

  
峰值速度600 m3h-1
 353 cfm
 10000 l min-1
極限真空7 x 10-4 mbar
 5.3 x 10-4 Torr
 0.07 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進(jìn)氣口連接ISO100
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
 4 l min-1
重量415 kg
極限功率輸入3.4 kW
電機額定功率6.1 kW
油容量1.43 l


  
所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

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