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產(chǎn)品名稱(chēng): 英國愛(ài)德華EPX500L EPX500N干式真空泵維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-03-28
產(chǎn)品型號: EPX500L
產(chǎn)品特點(diǎn): 新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 使用了*的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛(ài)德華EPX500L 干式真空泵維修保養

英國愛(ài)德華EPX500L EPX500N干式真空泵維修 的詳細介紹

英國愛(ài)德華EPX500L 干式真空泵維修保養

概述

新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 使用了*的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。英國愛(ài)德華EPX500L EPX500N干式真空泵維修

模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛(ài)德華EPX500L干泵保養、 EPX500N、EPX500LE、EPX500NE干式真空泵維修保養英國愛(ài)德華EPX500L EPX500N干式真空泵維修

應用

  • EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
      
    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過(guò)制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

     

    功能和優(yōu)勢

    • 緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 顯著(zhù)節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
    • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
    • *的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續工作。
    • 超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
    • 非??煽?– EPX 基于經(jīng)過(guò)現場(chǎng)驗證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,延長(cháng)了泵的使用壽命。
    • 可兼容的網(wǎng)絡(luò ) - EPX 系列配有終用戶(hù)控制,可以連接到各種結構的網(wǎng)絡(luò ),以進(jìn)行診斷監視和控制。

    技術(shù)數據

    峰值速度500 m3h-1
     295 ft3min-1
     8338 lmin-1
    極限真空 
     <1 x 10-6 mbar
     <7 x 10-7 Torr
     <1 x 10-4 Pa
    預熱時(shí)間(達到標稱(chēng)性能)30 分鐘
    入口法蘭ISO160
    出口法蘭NW25
    噪音<59 dB(A)
    小冷卻水流速2 lmin-1
    冷卻水溫度15 – 35°C
    電源供給200/208 V,50/60 Hz,3 相
    極限功率1.4 kW
    電機額定功率3.0 kW
    TIMC3
    重量45.2 kg

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