英國愛(ài)德華GX1000N 干式泵 200-230 V 50/60 Hz

製品概要

GX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹(shù)立了新標準。 效率提高的同時(shí)降低了運行成本，并在整個(gè)壓力范圍內保持連續*的泵送能力。英國愛(ài)德華GX1000N 干式真空泵維修保養

GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設計允許用戶(hù)對 GX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠(chǎng)的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。英國愛(ài)德華GX1000N 干式真空泵維修保養

應用

• 負載鎖
• 輸送
• 計量
• 平版印刷
• PVD 制程
• PVD 預清潔
• RTA
• 剝離/灰化
• 氧化物腐蝕
• 金屬腐蝕
• 植入源

功能和優(yōu)勢

• 低運行成本

  • 與 iL/iH 干泵相比，設施成本多可降低 50%

  • 無(wú)需預防性維護

• 靈活的安裝選項

  • 小巧輕便，便于安裝

  • 工具上、近程或遠程

• 可以改進(jìn)工具吞吐量

  • 可用的較快的負載鎖定泵之一

• 全程*的泵送性能

  • 在 50 和 60 Hz 下抽速相同

• 降低了環(huán)境噪音

  • 僅 55 dB(A)

• 峰值速度范圍寬

  • 100、300、600 和 800 m3h-1

    技術(shù)數據

    績(jì)效
    峰值速度	800 m3h-1
    	471 ft3min-1
    	13333 lmin-1
    極限壓力	1 x 10-3 mbar
    	7.5 x 10-4 Torr
    	0.10 Pa
    700 Torr 排氣壓力下的極限
    功率	1.6 kW
    AUC（有源設備控制器）	1.05 kW
    水*
    水入口	2 slm
    氮氣	4 或 14 slm **
    安裝詳細信息
    占地面積（不包括排氣裝置）	0.20 m2
    重量	230 kg
    進(jìn)氣口連接	ISO 100
    出氣口連接	NW25
    極限噪音	<55 dB(A)

    
      
    * 需要恒流閥附件
    ** 氮吹掃可以手動(dòng)調整到大 39slm 的流量

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一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂(lè ))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷(xiāo)售：
1、類(lèi)型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷(xiāo)、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè ))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷(xiāo)售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。