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產(chǎn)品名稱(chēng): 英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-09
產(chǎn)品型號: STP-L301C
產(chǎn)品特點(diǎn): Edwards 的防腐蝕 STP-L301（C） 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術(shù)可實(shí)現的性能，大的制程靈活性。英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C

英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C 的詳細介紹

英國愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-L301C ISO100 入口

概述

Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術(shù)可實(shí)現的性能，大的制程靈活性。英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C
  
STP-L301(C) 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設備制造商投入使用，并得到了認可。英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C

應用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線(xiàn)泵送端點(diǎn)站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長(cháng)
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線(xiàn)、加速器
  • 放射線(xiàn)應用：融合系統、回旋

 

功能和優(yōu)勢

先進(jìn)的轉子技術(shù)  

  • 大的制程靈活性

  • 無(wú)油

  • 低振動(dòng)

  • 高度可靠

  • 免維護

先進(jìn)的控制器設計  

  • 自動(dòng)調整

  • 自行診斷功能

  • 直流電機驅動(dòng)

  • 無(wú)電池運行

緊湊型設計  

  • 占地面積小

  • 半機架控制器

低振動(dòng)  

  • 內置振動(dòng)隔離系統提供了優(yōu)于 STP301C 和外部隔離器的性能。

     

    技術(shù)數據

    入口法蘭ISO100，CF100
    出口KF25
    吹掃口KF10
    抽速 
      N2260 ls-1
      H2290 ls-1
    壓縮比 
      N2>108
      He5 x 105
      H22 x 104
    加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭）6.5 x 10-6 Pa
     (5 x 10-8 Torr)
    加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭）10-8 Pa
     (10-10 Torr)
    大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）6.7 x 10-2 Pa
     (5 x 10-4 Torr)
    大連續出口壓力（環(huán)境空氣冷卻）13 Pa
     (0.1 Torr)
    額定速度48000 rpm
    啟動(dòng)時(shí)間3 min
    高入口法蘭溫度120 °C
    輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
     200 至 240 (± 10) V 交流
    啟動(dòng)時(shí)的功耗0.55 kVA
    泵重量13 kg
    控制器重量7 kg

     蘇州昆山太倉無(wú)錫上海張家港吳江常熟英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    鎮江常州揚州泰州南通南京啟東海門(mén)如皋英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    海門(mén)海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    溫州臺州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門(mén)英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
    泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    烏魯木齊石家莊天津長(cháng)春吉林濟南英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    青島威海德州連云港昆明九江安慶英國愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

    一、進(jìn)口真空泵維修：
    1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
    5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    8、RIETSCHLE(里其樂(lè ))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
    9、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
    11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、進(jìn)口真空泵配件銷(xiāo)售：
    1、類(lèi)型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷(xiāo)、控制板等。
    2、品牌：BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè ))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、進(jìn)口真空油銷(xiāo)售：
    品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

     

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