日本KASHIYAMA干式真空泵SDL20E50產(chǎn)品圖片
簡(jiǎn)單介紹
KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì )社,多年來(lái)致力于真空技術(shù)的研究,不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取,在半導體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導體制造領(lǐng)域,獲得了客戶(hù)的高度評價(jià)與信賴(lài)。
KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。并,除此之外,魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應用。
SDL系列
支持放大晶圓和FPD
通過(guò)組合可以實(shí)現大排量。 我們將回應超過(guò)150,000升/分鐘的要求。
更短的節拍時(shí)間。
通過(guò)確保大氣側排氣速度,高速抽空大型負載鎖定室。
值得信賴(lài)的真空技術(shù)。 一個(gè)多樣化的產(chǎn)品組,具有的動(dòng)力。
Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏(yíng)得了客戶(hù)的廣泛信賴(lài),包括半導體和液晶制造領(lǐng)域。
我們多年來(lái)培養的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎。
特別是,一系列干式泵已成為半導體制造工藝的標準,是一種可以說(shuō)是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品,并且得到了客戶(hù)的高度贊譽(yù),它在*困難的工藝中表現出*可靠的性能。
不僅是干泵,還有機械增壓泵,真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個(gè)領(lǐng)域展示了它的強大功能。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDL20E50特點(diǎn)
采用優(yōu)良的倉庫性能的立式螺絲
結構材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性
仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
*大排気速度 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
[L/min] *1 | |||||||
到達圧力 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5 | |||
[Pa] *1 | |||||||
電源電圧 | 3相 AC200~220V,?380~480V | 3相 AC380~440V | |||||
(50/60Hz) |
進(jìn)口真空泵維修
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NeoDry系列NeoDry7E NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E NeoDry60E NeoDry300E
MU-P/H系列MU100P/H MU180P/H MU300P/H MU600P/H MU1200P/H MU20M18P/H
MU-X系列MU100X MU180X MU300X MU600X MU1200X MU20M18X
SDL系列SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
SDE系列SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
SDE-X系列SDE90X SDE303X SDE603X SDE1203X SDE20M09X SDE30M09X
SDE-TX系列SDE120TX SDE303TX SDE603TX SDE1203TX SDE20M12TX SDE30M12TX
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