大氣壓近旁（離子規壓力：-100kPa～10kPa）可以進(jìn)行高精度測量的采用半導體型薄膜素子的壓力傳感器單元。為了可以對應高真空條件下的連續運轉的材質(zhì)，采用了SUS316L。愛(ài)發(fā)科真空計G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元

復合真空計G-TRAN系列高真空環(huán)境下測定，對真空計的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測定子污垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開(kāi)發(fā)了在嚴酷環(huán)境下長(cháng)久，高精度測定的電離真空計。

AxTRAN是離子源和離子集電極之間，搭載貝賽爾型能量過(guò)濾器的熱陰極型電離真空計。日本愛(ài)發(fā)科*真空計 AxTRAN維修

可以測量中真空～超高真空領(lǐng)域的熱陰極電離真空計。10+1?10-8Pa（金屬管類(lèi)型、GI-M2）、10-1?10-6Pa（玻璃管類(lèi)型、GI-D7）日本愛(ài)發(fā)科電離真空計GI-M2/GI-D7維修保養

真空環(huán)境下測定，對真空計的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測定子污垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開(kāi)發(fā)了在嚴酷環(huán)境下長(cháng)久，高精度測定的電離真空計。愛(ài)發(fā)科真空計G-TRAN多離子規ST2-1/ST2-2