CDG045D電容膜片真空計 的詳細介紹CDG045D電容膜片真空計的溫度控制在 45 o C,具有的信號穩定性和可重復性。 在 100m Torr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現場(chǎng)總線(xiàn)接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的對數壓力信號。
INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時(shí)間短和使用壽命長(cháng)等諸多優(yōu)勢。
INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì),成本效益,適用于苛刻的真空應用。CDG045D電容膜片真空計益處:擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗易于集成,各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口,標配兩個(gè)設定點(diǎn)輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點(diǎn)偏移診斷端口便于快速服務(wù)與維護兩年保修服務(wù),先進(jìn)的加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使用壽命的信號穩定性和可重復性,即使是zui嚴苛的等離子應用,都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準合規性和標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHSCDG045D電容膜片真空計典型應用:蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過(guò)程化學(xué)和腐蝕性過(guò)程一般薄膜和真空過(guò)程作為基準儀器監控測試儀器是否符合標準符合傳遞標準,確保測量可追溯性CDG045D電容膜片真空計選型指南:
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