歐瑞康萊寶于九十年代研發(fā)的型的DIP系列大口徑擴散泵,對傳統擴散泵在許多方面做了重大改進(jìn),其主要特點(diǎn):
- 抽速大;抽速范圍為3000~50000升/秒(ISO/DIN標準,既中國國家標準),共分六種規格;
- 泵壁有凹槽,冷卻水管臥在凹槽內,增大了接觸面積,冷卻效果好;
- 油蒸氣返流量低。不加外置水冷擋板并使用DIFFELEN普通礦物油,其返流量為1×10-3毫克/厘米2每分鐘,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分鐘;
- 極限真空度高;低于10-8mbar;
- 重量輕;50000升/秒抽速的DIP50000擴散泵的重量?jì)H為560公斤;
- 采用插入擴散泵內部的多支加熱棒加熱,熱傳輸效率高,因此預熱、時(shí)間短;對于抽速為3000-20000升/秒的泵,預熱時(shí)間為小于25分鐘;30000和50000升/秒的泵,預熱時(shí)間小于30分鐘;
- 可在不停泵的情況下更換擴散泵的加熱棒;
- 裝有過(guò)熱保護裝置,防止泵油過(guò)熱;
- 通過(guò)油觀(guān)察窗可隨時(shí)觀(guān)察油是否變質(zhì);
- 有注油口和放油口,換油時(shí)無(wú)須把擴散泵從真空系統中拆下;
- zui大允許前級壓力高,為0.6mbar。
- 在冶金、熱處理和鍍膜等領(lǐng)域,歐瑞康萊寶為客戶(hù)度身訂做各種規格的擴散泵組。