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產(chǎn)品名稱(chēng): 日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-02-10
產(chǎn)品型號: CRYO-U4H
產(chǎn)品特點(diǎn): 特點(diǎn)輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實(shí)驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上?？梢远嗯_運行（大3臺）?？梢赃_到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修 的詳細介紹

標準低溫泵 [4型]
CRYO-U4H

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特點(diǎn)

  • 輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。
  • 適用於實(shí)驗室研究室的小型真空設備中。
  • 特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。
  • 可以多臺運行（大3臺）。
  • 可以達到超高真空（10-8Pa以下）。
  • 日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修?

外形尺寸 (單位:mm)

    標準規格日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修?

    排気速度(20℃)氮氣L/s750
    氫氣1,100
    氬氣620
    水2,100
    到達圧力Pa(Torr)10-7(10-9)
    大流量氬氣Pa?L/s(Torr?L/s)1.1×103(7.9)
    氫氣1.1×102(0.8)
    排氣容量氬氣Pa?L(Torr?L)5.6×107(4.2×105)
    氫氣3.1×105(2.3×103)
    冷卻下降時(shí)間 (電力循環(huán))min(Hz)80/70(50/60)
    吸氣口法蘭UVG-150,UFC-203
    壓縮機C10, C10AT, C10ES
    質(zhì)量Kg19

    *維護間隔：16,000小時(shí)

    蘇州昆山太倉無(wú)錫上海張家港吳江常熟日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標準低溫真空泵CRYO-U4H維修保養

    鎮江常州揚州泰州南通南京啟東海門(mén)如皋日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標準低溫真空泵CRYO-U4H維修保養

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