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產(chǎn)品名稱(chēng): 日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-02-10
產(chǎn)品型號: CRYO-U6H
產(chǎn)品特點(diǎn): 能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時(shí)運作?？梢园凑沼猛镜牟煌M(jìn)行設計、制作。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養

日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養 的詳細介紹

日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養?

標準低溫泵 [6型]
CRYO-U6H

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特點(diǎn)

  • 能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。
  • 高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻。
  • 特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。
  • 1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時(shí)運作。
  • 可以按照用途的不同進(jìn)行設計、制作。
  • 日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養?

外形尺寸 (單位:mm)

    標準規格

    排気速度(20℃)氮氣L/s450
    氫氣500
    氬氣370
    水1,100
    到達圧力Pa10-7
    大流量氬氣Pa?L/s1.3×103
    排気容量氬氣Pa?L1.0×107
    氫氣1.5×105
    冷卻降下時(shí)間min(50/60Hz)45/50
    質(zhì)量Kg14.5

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