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產(chǎn)品名稱(chēng): 日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-29
產(chǎn)品型號: SDE4030M20
產(chǎn)品特點(diǎn): KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì )社,多年來(lái)致力于真空技術(shù)的研究,不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取,在半導體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導體制造領(lǐng)域,獲得了客戶(hù)的高度評價(jià)與信賴(lài)。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修 的詳細介紹

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20

簡(jiǎn)單介紹

KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì )社,多年來(lái)致力于真空技術(shù)的研究,不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取,在半導體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導體制造領(lǐng)域,獲得了客戶(hù)的高度評價(jià)與信賴(lài)。

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

詳細介紹

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。并,除此之外,魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應用。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

SDE系列

*高抽速可達200,000 L / min級

適用于大型晶圓/ FPD基板

回應每個(gè)過(guò)程

值得信賴(lài)的真空技術(shù)。 一個(gè)多樣化的產(chǎn)品組,具有的動(dòng)力。

Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏(yíng)得了客戶(hù)的廣泛信賴(lài),包括半導體和液晶制造領(lǐng)域。

我們多年來(lái)培養的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎。

特別是,一系列干式泵已成為半導體制造工藝的標準,是一種可以說(shuō)是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品,并且得到了客戶(hù)的高度贊譽(yù),它在*困難的工藝中表現出*可靠的性能。。

不僅是干泵,還有機械增壓泵,真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個(gè)領(lǐng)域展示了它的強大功能。

特點(diǎn)

采用優(yōu)良的倉庫性能的立式螺絲

結構材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性

 

仕様 / 型式 *1SDE1220SDE20M20SDE30M20SDE4060SDE4030M20SDE8060SDE804060
*大排気速度20,00030,00050,00060,00080,000120,000190,000
[L/min] *2
到達圧力0.50.80.50.80.5
[Pa] *2
電源電圧3相 AC200~220V, 380~480V
(50/60Hz)
外観寸法 [mm]W:400W:450W:450W:750W:800W:850W:1000
W*H*L *3H:780H:950H:950H:1200H:1580H:1220H:1980
 L:930L:1000L:1000L:1600L:1320L:1600L:1850
 

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