ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長(cháng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養

采用數碼5軸控制的磁力軸承的復合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過(guò)數碼5軸控制磁懸軸承的采用，實(shí)現高功能·高可靠性·節約能源對應等優(yōu)勢。愛(ài)發(fā)科數碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修

ULVAC的渦輪分子泵，擁有適合研究·開(kāi)發(fā)·生產(chǎn)用途等廣泛陣容的產(chǎn)品。根據使用目的·用途·應用可任意選擇。愛(ài)發(fā)科軸承型渦輪分子真空泵 UTM系列維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10,000-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵PMC-040C PMC-060C維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。 PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵?？梢赃x擇大氣驅動(dòng)型。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修