ULVAC的渦輪分子泵，擁有適合研究·開(kāi)發(fā)·生產(chǎn)用途等廣泛陣容的產(chǎn)品。根據使用目的·用途·應用可任意選擇。愛(ài)發(fā)科軸承型渦輪分子真空泵 UTM系列維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10,000-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵PMC-040C PMC-060C維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。 PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵?？梢赃x擇大氣驅動(dòng)型。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修

PMB 系列 Ver.D是寬電壓電機（高效率電機） 可選擇的泛用型羅茨泵.可以選擇空冷運轉,表面處理和大氣壓驅動(dòng)型。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵 PMB 系列 Ver. D維修保養

PKS Series是非常堅固排氣特性穩定的大型油回轉泵（滑閥型）。在金屬?汽車(chē)產(chǎn)業(yè)，化學(xué)?醫藥?食品產(chǎn)業(yè)等廣泛應用。愛(ài)發(fā)科真空泵PKS-016 PKS-030 PKS-070維修