特點(diǎn)輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實(shí)驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上?？梢远嗯_運行（大3臺）?？梢赃_到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長(cháng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實(shí)用性得到了非常高的評價(jià)。愛(ài)發(fā)科油擴散噴射真空泵 PBL系列維修保養

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長(cháng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實(shí)用性得到了非常高的評價(jià)。愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵PFL系列PFL-22維修保養

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長(cháng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛(ài)發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養

采用數碼5軸控制的磁力軸承的復合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過(guò)數碼5軸控制磁懸軸承的采用，實(shí)現高功能·高可靠性·節約能源對應等優(yōu)勢。愛(ài)發(fā)科數碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修