可以通過(guò)一臺壓縮機支持兩臺泵同時(shí)運作的方式來(lái)降低成本。適用于實(shí)驗裝置與中規模的生產(chǎn)。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U10H維修

高度低的緊湊式設計。裝置可以進(jìn)行小型化?？梢远嗯_運行（大3臺）。也可以制作成其他泵的尺寸。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U8HL維修

可以*替代CTI的低溫泵CT-8。CT-8相比氫氣的排氣性更為優(yōu)秀?？梢远嗯_運行（大3臺）。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U8H-U維修

輕量、緊湊、銷(xiāo)量高，低溫泵的標準。適用于實(shí)驗裝置與小型生產(chǎn)裝置?？梢远嗯_運行（大3臺）?？梢赃_到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U8H維修保養

能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時(shí)運作?？梢园凑沼猛镜牟煌M(jìn)行設計、制作。日本愛(ài)發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養