萊寶真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX?

350i/iX 450i/iX T350i/iX T450i/iX TURBOVAC i/iX分子泵

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級泵組合后，可以實(shí)現低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶真空是世界上渦輪分子泵領(lǐng)導品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場(chǎng)合。工作原理渦輪分子泵轉子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動(dòng)量傳輸給氣體分子，將起初無(wú)方向性的熱運動(dòng)變成有定向運動(dòng)。
萊寶真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX?

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級泵組合后，可以實(shí)現低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵領(lǐng)導品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場(chǎng)合。

工作原理

渦輪分子泵轉子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動(dòng)量傳輸給氣體分子，將起初無(wú)方向性的熱運動(dòng)變成有定向運動(dòng)。

渦輪分子泵的抽氣過(guò)程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運動(dòng)到前級真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時(shí)，氣體分子的平均自由行程大于轉子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點(diǎn)幾毫米)，分子主要與轉子葉片碰撞，所以

抽氣過(guò)程非常高效。

在粘滯流范圍，也就是壓強超過(guò)10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則*不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉子的效率。因此，渦輪分子泵無(wú)法在大氣壓下工作，需要適當抽速的前級真空泵。

為了使氣體分子產(chǎn)生定向運動(dòng)，轉子葉片的末端的線(xiàn)速度必須足夠大。所以，轉子也要有相應的高轉速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉速大約為36000rpm，而較小直徑轉子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉速為72000rpm。

分子泵設計理念

萊寶真空針對不同應用提供基于不同軸承和轉子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承，高真空端配置免維護的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上*避免分子泵對腔體產(chǎn)生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

TURBOVAC i/iX系列

TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設計理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶(hù)提供真空的性能和較高的系統集成度。

TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng )新的軸承設計*地克服了分子泵軸承設計的瓶頸，同時(shí)滿(mǎn)足了軸承無(wú)油和現場(chǎng)更換這兩大設計難點(diǎn)，實(shí)現了*一代的技術(shù)水平。

TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應用

TURBOVAC產(chǎn)品線(xiàn)的優(yōu)勢是：

- 無(wú)油，可以實(shí)現清潔的高真空和超高真空條件

- 運行高度可靠

- 耐輻射

- 設計緊湊

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線(xiàn)的優(yōu)勢是：

- *款無(wú)油半磁浮分子泵

- 模塊化設計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無(wú)油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長(cháng)軸承和分子泵的壽命延長(cháng)。

裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區域。

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線(xiàn)的優(yōu)勢是：

- *款無(wú)油半磁浮分子泵

- 模塊化設計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無(wú)油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長(cháng)軸承和分子泵的壽命延長(cháng)。裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC

泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區域。

技術(shù)特點(diǎn)

TURBOVAC i

- 集成變頻器，24/48V DC 電源供電

- 切削成型轉子和全新復合級設計使分

　子泵具有超佳性能和較大抽速，對輕

　質(zhì)氣體尤為突出

- 任意方向安裝

- *的可靠性源于創(chuàng )新的軸承設計理

　念

- 設計靈活，適應性強

- 市場(chǎng)上一款無(wú)油半磁浮分子泵

- 現場(chǎng)維護（更換軸承），維修成本低，

　時(shí)間短

- 通訊接口齊全（標配USB，RS485和

　15針數字I/O）

TURBOVAC iX

- 集成真空系統控制器配置靈活的通訊

　接口和附件控制接口（用于控制冷卻

　單元，閥門(mén)，規管和前級泵等）

- 附件齊全，即插即用

- 適應性強，適合各類(lèi)真空工藝

TURBOVAC T i, T iX

- 標準分子泵（不含復合級）

- 帶氣載能力強

- 耐粉塵

- 啟動(dòng)時(shí)間短

典型應用

- 分析儀器/科研

　- 質(zhì)譜儀

　- 電子顯微鏡

　- 表面分析儀

　- 加速器和同步加速器

　- X射線(xiàn)分析儀

　- 實(shí)驗室鍍膜系統

　- MBE

　- 超高真空系統

- 生命科學(xué)

　- 放射醫療

　- 伽馬射線(xiàn)滅菌

　- 高品質(zhì)植入物生產(chǎn)

- 工業(yè)和鍍膜應用

　- PVD鍍膜設備

　- 光學(xué)鍍膜設備

　- CD/DVD/藍光光碟生產(chǎn)

　- 薄膜太陽(yáng)能

　- 進(jìn)樣室/轉移室/傳輸室

　- 電子束焊機

　- 檢漏/真空絕熱